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产品介绍》特殊气体

 

 

特 殊 气 体



无 机 类
名称 纯度 杂质含量 执行标准
He 工业氦He≥99% Ne(H2),O2(Ar), N2, CH4总含量≤1%,H2O露点℃-43 GB/T 4844.1-1995
99.99% Ne≤40,H2≤7,O2(Ar)≤5, N2≤25, Co≤1, CO2≤1,CH4≤1, H2O≤20 GB/T 4844.2-1995

99.993%

Ne≤25,H2≤5,O2(Ar)≤5, N2≤17, Co≤1, CO2≤1,CH4≤1, H2O≤15 GB/T 4844.2-1995
99.995% Ne≤15,H2≤3,O2(Ar)≤3, N2≤10, Co≤1, CO2≤1,CH4≤1, H2O≤10 GB/T 4844.2-1995
99.999% Ne≤40,H2≤7,O2(Ar)≤5, N2≤25, Co≤1, CO2≤0.5,CH4≤0.51, H2O≤3 GB/T 4844.3-1995

99.9993%

Ne≤2,H2≤0.5,O2(Ar)≤1, N2≤1, Co≤0.2, CO2≤0.2,CH4≤0.2, H2O≤2 GB/T 4844.3-1995
Ne 99.99% N2≤100, CO2≤1,CH4≤1  
99.999% N2≤3, He≤10, O2≤1, CO2≤0.5, CO≤1.0, H2O≤1.0, THC≤1.0 Q/SGYQ001-2001
Kr 99.95% Xe≤50, N2≤1.5 , O2+Ar≤5, H2≤2, CO2≤1, CO≤1, CH4≤1 , H2O≤3  

99.99%

N2≤20, O2+Ar≤5, H2≤2, 总碳≤3,H2O≤3,Xe≤50, 总杂质含量≤100 GB/T 5829-1995

99.995%

N2≤10, O2+Ar≤5, H2≤1, 总碳≤2,H2O≤3,Xe≤30, 总杂质含量≤50 GB/T 5829-1995

99.999%

N2≤3, O2+Ar≤2, H2≤0.5, 总碳≤1,H2O≤2.6,Xe≤4, 总杂质含量≤10 GB/T 5829-1995
Xe 99.95% CO2≤5, Co≤5, CH4≤5, N2O≤5, H2O≤5  

99.99%

N2≤20, O2+Ar≤5, H2≤2, 总碳≤3,H2O≤3,Kr≤50,N2O≤1, 总杂质含量≤100 GB/T 5828-1995

99.995%

N2≤10, O2+Ar≤4, H2≤1, 总碳≤2,H2O≤3,Kr≤30,N2O≤1, 总杂质含量≤50 GB/T 5828-1995

99.999%

N2≤1, O2+Ar≤2, H2≤0.5, 总碳≤1,H2O≤2.5,Kr≤4, N2O≤0.5, 总杂质含量≤10 GB/T 5828-1995



有 机 类
分子式 名称 纯度 杂质含量
CH4 甲烷 99.9-99.995% 4N 级 THC≤5 , N2≤50 , H2O≤15 , O2≤ 30
C2H6

乙烷

99.9-99.99% 3N 级 N2 +O2≤ 500 , THC≤ 450 , H2O≤ 15
C2H6 乙烷 99.9-99.99% 4N 级 N2+O2 ≤ 70 , THC≤ 20 , H2 O≤ 5
CH3CL 氯甲烷 99.50%
C2H5CL 氯乙烷 99.70%
C2H4O 环氧乙烷 99.90% H2O<200,CH4CHO<200,CH3-CH-CH2O<600
C3H8 丙烷 99-99.99% 4N 级 C3H6≤1,i-C4H10≤75,C2H8≤1,CH4≤1,O2+N2≤ 20
n-C4H10 正丁烷 99.5-99.99% 4N级THC≤ 100
C2H2 乙炔 99.8-99.9%
i-C4H10 异丁烷 99.5-99.99% 4N级C2H4≤2,C3H8≤2,n-C4H10≤6,C4H8-1≤2,I-C4H8 ≤30,CH4≤ 50
C4H8 丁烯-1 95%
C4H8 顺-2- 丁烯 95%
C4H8 反-2-丁烯 99.5-99.9%
i-C4H8 异丁烯 99% (C01~C 04, C=2,C=3))≤5000 2.5N级
CH2 3 环丙烷 100.00%
AsH3 砷烷 99.99% THC≤1,N2≤3,CO2≤1,PH3≤2,H2O≤0.5 O2≤1,CO ≤0.5
B2H6 硼烷 99.95-99.99% N2≤10 , THC≤ 80
C2H4 乙烯 99.9-99.99% 4N 级 H2≤5,C2H6≤50,CO2≤5,C2H2≤5,O2≤5,CO≤5, CH4≤20
C3H6 丙烯 93% 4N 级 H2≤1 , THC≤100, CO2 + CO≤5
C3H4 丙二烯 99.5%
n-C5H9 正戊烷 99.5% 1-C5H9≤3000, H2O≤1000,n-C5H10≤1000, i-C5H10≤ 1000
i-C5H9 异戊烷 99.99% N-C5H9≤3000, C3~C4≤1000, H2O≤1000
PH3 磷烷 H2≤ 20 ,N2≤ 10,CO2≤ 10,THC≤ 3, H2O ≤ 2,O2≤ 3
SiH4 硅烷(电子级) H2≤4000,N2≤5,CO2≤1.5,O2≤0.2,CO≤0.5CH4≤20, Ar≤2
SiH4 硅烷(外延级) H2≤10,CO≤10,CO2≤10,N≤ 40,H2O≤3,O2≤10,THC≤ 40,SiHxCL4-x≤1000
SiH4 硅烷(氮化硅级) H2≤ 500,CO≤10,H2 O≤3,O2≤10,Ar≤40,CO2≤10,THC ≤ 10



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