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液态气体 |
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工业气体 |
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特殊气体 |
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标准气体 |
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电子气体 |
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混合气体 |
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杜瓦瓶 |
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生物容器 |
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产品介绍》电子气体
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电 子 气 体
| 电 子 气
体 |
| 气体 |
纯度 |
杂质含量（PPm） |
执行标准 |
| NH3 |
99.99995% |
CO≤0.1,CH4≤0.1,CO2≤0.1,Ar+O2≤0.1,
N2≤0.1，H2O≤0.1,H2≤0.1 |
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| SiH4 |
99.9999% |
CO2≤0.05,CO≤0.05,Ar≤0.5，C2H6≤0.15，H2≤20，He≤1,O2≤0.5，N2≤0.5，H2O≤0.5,CH4≤0.05 |
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| SF6 |
99.999% |
N2≤2,CF4≤2,H2O≤2,CH4≤0.1,CO2≤0.1,Ar+O2≤2,HF≤0.3 |
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| HCl |
99.999% |
CO2≤1,N2≤1,O2≤
1,H2O≤1 |
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